至纯科技——半导体设备技术突破最快的细分领域

作者 | SuperZ

数据支持 | 勾股大数据

清洗设备是设备领域突破速度最快的，目前国产化率已经维持在10-20%，超过了其他大部分半导体设备。而今天我们要讨论的这家公司是至纯科技（603690.SH）。

1、公司业务介绍

公司的业务主要分为三个部分，分别为高纯工艺系统、半导体设备、光传感及光器件。

高纯工艺系统是公司的主营业务，而半导体设备中主要是指清洗设备，这是目前公司最大的成长型业务。

其中占比最大的业务（占营收比例62%）是高纯工艺系统的设计、制造和安装调试，主要应用于泛半导体领域（IC晶圆制造、平板显示、光伏、LED等）及生物制药、食品等需要超净生产环境的领域。

而在半导体领域，高纯工艺系统占晶圆厂半导体CAPEX的5%-8%，国内晶圆厂新增产线将为公司带来发展机遇。公司高纯工艺系统目前已经覆盖了28-65nm的设备，并且有14nm的技术储备，已经切入一线用户，包括中芯国际、华虹华力、华润微、士兰微、长江存储等、台积电、三星等。

这一部分业务比较稳定，未来将随着国内晶圆厂新增产线而呈现线性增长的过程，对公司来说也没有太大的变化，因此不在本文重点讨论的范围。

除此之外，清洗设备相关的业务虽然目前占比不高，但由于至纯在这一块的订单和扩产速度都极快，因此但其成长性更值得我们关注。

一般来说，半导体清洗设备对晶圆制造的良品率影响很大，且贯穿半导体工艺的多个环节，例如单晶硅片制造、光刻、刻蚀、沉积等关键制程及封装工艺后均需要进行，大约占所有芯片制造工序步骤1/3以上。

由于在工艺流程中非常容易受到尘粒、金属的污染，造成晶片内电路功能的损坏、短路或断路等缺陷，导致整个终端报废，清洗工作能有效地使用化学溶液或气体清除残留在晶圆上的微尘、金属离子及有机物等杂质。

清洗工艺在半导体设备市场中的占比维持在6%左右，根据SEMI数据预估2021-2022年市场规模约为49/52亿美元，并且未来每年都保持稳定的增长。

随着节点的推进，清洗工序的数量和重要性会继续提升。工艺技术节点进入28纳米以及14nm等更先进等级，每个晶片在整个制造过程中需要超过200道清洗步骤。

2、竞争格局

清洗工艺可分为干法清洗和湿法清洗两类，目前晶圆制造90%的清洗步骤以湿法工艺为主，大约占比达到90%。在湿法路线下，主流的清洗设备主要包括单片清洗设备、槽式清洗设备、组合式清洗设备和批式旋转喷淋清洗设备等。其中以单片清洗设备为主流，并且维持 10%的年复合增长。

目前全球的清洗设备主要是日本和美国厂商，占据了超过95%以上的市场份额。包括日本的DNS迪恩士、东京电子、韩国SEMES、美国的泛林半导体等。

在国内，清洗领域主要是至纯科技、盛美半导体、北方华创、芯源微等。虽然占比不高，但清洗设备是设备领域突破速度最快的，目前国产化率已经维持在10-20%，超过了其他大部分半导体设备。

在国内的竞争中，由于市场空间足够，因此虽然在技术制程上比盛美半导体落后一些，但从同等工艺产品中，至纯产品的清洗效率是更高的。

3、需求

目前至纯可以提供28nm节点的全部湿法工艺，并且已经切入到中芯、华虹等晶圆厂。自2020年3月开始，公司每月槽式设备交付2-3台，客户包括华润微、楚微、中车、燕东科技、力机电等，全年出货量超过30台，目前订单排产已经到了2022年，未来预计5年200台的装机量。

公司首批单片湿法设备交付并多工艺顺利通过验证，预计在今年下半年会开始交付，届时毛利率会大幅提升。一旦进入供应链后，往往粘性会变得比较强，并且在晶圆厂增加capex的时候会有更多收获，比如2020年核心客户均持续重复采购，如中芯，华力，力晶，长鑫，士兰微，惠科等。

4、供给

公司此前已经通过发行可转债等方式扩大设备的生产能力，如：2019年12月，公司通过发行可转债募资3.47亿元（净额）用于建设半导体湿法设备制造项目和晶圆再生项目。其中的湿法设备在2021年开始投产使用，预计在2022年达产，达产后公司将新增年产槽式半导体湿法清洗设备30台，单片式半导体湿法清洗设备10台的生产能力，预计每年可贡献2.3-2.6亿元的收入，0.32-0.34亿元的净利润。

此外，公司在2020年12月，公司通过定增募资13.55亿元用于半导体湿法清洗设备扩产项目、半导体晶圆再生项目以及光电子材料及器件制造基地建设项目等。2020 年，启东生产基地已投入使用，产能逐步提升。

而近期至纯再次发行11亿元可转债，用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目、至纯北方半导体研发生产中心项目、集成电路大宗气体供应站及配套项目以及补充流动资金或偿还银行贷款。

相比起其他的竞争公司，未来至纯在产能上的优势会体现得非常明显。

5、盈利预估和估值

目前公司在各个业务线都在加速发展，除了上述说到的高纯工艺（预估20-30%的增速）、半导体清洗设备（预估50%的增速）之外，还有光传感及光器件、晶圆再生等业务，多头并进，持续扩大公司的业务增长点。

安信预计公司21-23年收入分别为19.84/27.18/36.69亿元，净利润为3.72/5.1/6.73亿元，对应PE为51x/37x/28x，在估值上具备非常不错的优势。

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